Mission nationale de sauvegarde du patrimoine scientifique et technique contemporain

Description

Le microscope
électronique à balayage est constitué d’une console comportant une colonne avec
le système optique surmontée d’un canon à électrons, une chambre où est
introduit l’échantillon, un détecteur et un pupitre de commande avec écran
cathodique sur lequel est visualisé l’échantillon. Un appareil photographique
permet de réaliser un cliché.
Un système de vide avec une pompe à palette pour le vide primaire et une pompe
à diffusion d’huile pour le vide secondaire, complète le dispositif.
Les électrons émis à partir d’un filament incandescent placé dans un vide
poussé, sont accélérés par le canon à électrons, puis focalisés par des
lentilles magnétiques. Un condenseur permet d’éclairer une partie plus ou moins
grande de l’échantillon et de régler l’inclinaison des rayons tombant sur lui.
Le porte-objet muni de vis micrométriques permet de déplacer l’échantillon dans
toutes les dimensions afin de le positionner correctement pour une bonne
observation.
Les échantillons
doivent être rigoureusement déshydratés à l'aide d'un séchoir à point critique
(voir fiche PATSTEC 2611) et métalliser sous vide, c’est-à-dire recouvert d’une
mince couche de métal, pour pouvoir être observés (voir fiche PATSTEC 2612).
Différences de
principe entre la microscopie optique (MO), la microscopie électronique à
transmission (MET) et la microscopie électronique à balayage.
En MO la lumière traverse un échantillon de très faible épaisseur et le
grossissement est effectué par des lentilles en verre. En MET un faisceau
d’électrons traverse un échantillon de très faible épaisseur et le
grossissement est effectué par des lentilles magnétiques. Un vide très poussé est
réalisé dans l’appareil pour ne pas gêner le parcours des électrons. En MEB, le
faisceau d’électrons balaie la surface de l’échantillon avant d’aboutir sur le
détecteur. L’information est convertie en signal électrique, amplifiée et
envoyée sur l’écran cathodique d’observation. Le grossissement est assuré par
des lentilles magnétiques.

Utilisation

Le microscope électronique à balayage JEOL JSM 5200 a
été utilisé par le laboratoire de recherche de biologie animale de
l'université, en particulier pour l'étude des vers marins (polychètes).

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