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Mission nationale de sauvegarde du patrimoine scientifique et technique contemporain
OBJETS
Dual-Beam (Microscope électronique à double faisceau)
Fiche N°759| Période de fabrication : 2000-2024 | Fabricant : FEI ; FEI ; FEI | |
| Domaines : Physique | Sous-domaines : | |
| Organisme : INSTITUT FRESNEL, Campus Étoile, Faculté des Sciences de Saint Jérôme, Avenue Escadrille Normandie Niemen - 13397 MARSEILLE | Ville : Marseille | |
| Modèle : DB 235 Strata | Matériaux : |
Description
L’instrument fabriqué par la société FEI se compose d’une chambre d’analyse de 2 colonnes électroniques et ioniques pour l’imagerie par microscopie électronique et la gravure par faisceau d’ions gallium focalisé. Il s’agit d’un microscope électronique avec une source à effet de pointe fonctionnant sous vide. Une deuxième colonne sert à la source d’ions gallium focalisés. Le double microscope sert à fabriquer des structures à l’échelle nanométrique avec faisceau d’ions focalisé et à de l’imagerie non destructive avec le faisceau électronique.
Utilisation
L’objet est utilisé pour la recherche à l'Institut Fresnel.
Pour nous citer :
Base de la Mission nationale de sauvegarde et de valorisation du patrimoine scientifique et technique contemporain, PATSTEC, Dual-Beam (Microscope électronique à double faisceau) (FEI ; FEI ; FEI), https://www.patstec.fr/ressources/objets/detail?id=24904, consulté le 2026-07-28
Base de la Mission nationale de sauvegarde et de valorisation du patrimoine scientifique et technique contemporain, PATSTEC, Dual-Beam (Microscope électronique à double faisceau) (FEI ; FEI ; FEI), https://www.patstec.fr/ressources/objets/detail?id=24904, consulté le 2026-07-28
