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Mission nationale de sauvegarde du patrimoine scientifique et technique contemporain
OBJETS
BAK 600 (EBD)
Fiche N°853| Période de fabrication : 1975-1999 | Fabricant : BALZERS | |
| Domaines : Physique | Sous-domaines : | |
| Organisme : INSTITUT FRESNEL, Campus Étoile, Faculté des Sciences de Saint Jérôme, Avenue Escadrille | Ville : Marseille | |
| Modèle : BAK 650 | Matériaux : |
Description
La machine BAK600 (EBD) fabriquée par l’entreprise Balzers, sert à déposer des fines couches amorphes (quelques nanomètres à quelques micromètres) de matériaux pour la confection d’éléments optiques de filtrage. La machine comprend une enceinte à vide, deux canons à électrons, un dispositif de contrôle optique en transmission, une microbalance à quartz, une armoire électrique, une pompe primaire, une pompe à diffusion et un circuit de refroidissement à eau. Les substrats destinés à être recouverts par les couches minces sont le plus souvent des disques de silice d’un diamètre allant de 25 à 100 mm Ils sont placés dans l’enceinte à vide. Les matériaux à évaporer sont conditionnés sous forme de granulés de matériaux et placés dans des creusets d’évaporation. Un faisceau électronique bombarde le contenu des creusets. Le matériau cible est alors évaporé et se condense sous la forme d'une couche mince à la surface du substrat. La distance entre le substrat et la cible est de l’ordre de quelques dizaines de centimètres.
Utilisation
L’objet est utilisé par le laboratoire pour la recherche et l’enseignement à l'Institut Fresnel.
Base de la Mission nationale de sauvegarde et de valorisation du patrimoine scientifique et technique contemporain, PATSTEC, BAK 600 (EBD) (BALZERS), https://www.patstec.fr/ressources/objets/detail?id=28690, consulté le 2026-07-26
