Mission nationale de sauvegarde du patrimoine scientifique et technique contemporain

Description

Le BAK 750 (IAD) fabriqué par Balzers, sert à déposer des fines couches (quelques nanomètres à quelques micromètres) de matériaux extrêmement denses pour la confection d’éléments optiques de filtrage. La machine comprend une enceinte à vide, deux canons à électrons, un canon à ions, une source plasma, un dispositif de contrôle optique en transmission, une microbalance à quartz, une armoire électrique, une pompe primaire, une pompe cryogénique et un circuit de refroidissement à eau. Les substrats destinés à être recouverts par les couches minces sont le plus souvent des disques de silice d’un diamètre allant de 25 à 100 mm. Ils sont placés dans l’enceinte à vide. Les matériaux à évaporer sont conditionnés sous forme de granulés de matériaux et placés dans des creusets d’évaporation. Un faisceau électronique bombarde le contenu des creusets. Le matériau cible est alors évaporé et se condense sous la forme d'une couche mince à la surface du substrat. Une source ionique est utilisée pour densifier les couches déposées, améliorer leur adhésion ou pré-nettoyer le substrat. La distance entre le substrat et la cible est de l’ordre de quelques dizaines de centimètres.

Utilisation

L’objet est utilisé pour le recherche à l'Institut Fresnel.