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Mission nationale de sauvegarde du patrimoine scientifique et technique contemporain
OBJETS
Dispositif de dépôt de films minces par évaporation sous vide
Fiche N°2676| Période de fabrication : 1975-1999 | Fabricant : fabricant non renseigné | |
| Domaines : Physique, Matériaux | Sous-domaines : Cristallographie | |
| Organisme : Université de Nantes - UFR Sciences et techniques | Ville : Nantes | |
| Modèle : | Matériaux : Acier inoxydable |
Description
Le bâti d'évaporation sous vide est composé d'une chambre à vide métallique de forme cylindrique, posée sur une structure à base rectangulaire renfermant le système électonique de commande ainsi que des circuits de pompage primaire et secondaire. Un courant électrique important circule dans des creusets, permettant d'obtenir une énergie suffisante pour faire l'évaporation.
L'énergie thermique est ici utilisée pour obtenir la sublimation des matériaux sous vide.
Utilisation
Ce bâti est utilisé dans le processus de fabrication et de dépôt de films minces sous vide. Il est toujours en fonctionnement au Laboratoire de physique cristalline de l'Institut des Matériaux Jean Rouxel de Nantes.
Pour nous citer :
Base de la Mission nationale de sauvegarde et de valorisation du patrimoine scientifique et technique contemporain, PATSTEC, Dispositif de dépôt de films minces par évaporation sous vide (fabricant non renseigné), https://www.patstec.fr/ressources/objets/detail?id=3356, consulté le 2026-07-22
Base de la Mission nationale de sauvegarde et de valorisation du patrimoine scientifique et technique contemporain, PATSTEC, Dispositif de dépôt de films minces par évaporation sous vide (fabricant non renseigné), https://www.patstec.fr/ressources/objets/detail?id=3356, consulté le 2026-07-22
