Mission nationale de sauvegarde du patrimoine scientifique et technique contemporain

Description

Le spectromètre de masse à émission d'ions secondaires est utilisé comme un microscope électronique pour l'analyse chimique et isotopique. L'appareil est constitué d'une partie objet, d'un prisme magnétique et d'une partie image.
Son principe est le suivant : une source d'ions primaires génère un faisceau qui vient frapper l'échantillon à analyser, provoquant l'éjection d'ions secondaires caractéristiques de l'échantillon. Le faisceau d'ions secondaires est envoyé vers le prisme magnétique, qui décompose l'image globale en une série d'images élémentaires (autant qu'il y a d'éléments chimiques). Dans la partie image, un convertisseur permet de transformer le faisceau d'ions en faisceau d'électrons pouvant être réceptionné par un écran fluorescent pour former une image et être photographié.

Utilisation

Ce montage a été mis en place en 1958 au Laboratoire de Physique des solides sous la direction de R. Castaing et G. Slodzian. Jusque dans les années 1990, il a fait l'objet de plusieurs développements au sein du laboratoire, ayant pour but d'améliorer ses performances en fonction de l'évolution technologique ou de lui ajouter de nouvelles fonctionnalités.
Il est également à l'origine de nombreux instruments d'analyse SIMS commercialisés par CAMECA.