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Mission nationale de sauvegarde du patrimoine scientifique et technique contemporain
OBJETS
Bâti de pulvérisation cathodique
Fiche N°761| Période de fabrication : 1975-1999 | Fabricant : Plassys | |
| Domaines : Physique | Sous-domaines : Electronique | |
| Organisme : Centre national de la recherche scientifique (CNRS) | Ville : Toulouse | |
| Modèle : PLASSYS MP4 600S | Matériaux : |
Description
Ce bâti de pulvérisation cathodique PLASSYS MP4 600S se compose d’une enceinte à gaz raréfié comportant le dispositif de pulvérisation. Par application d’une différence de potentiel entre une cible (contenant le matériau à pulvériser) et les parois, on crée un plasma froid qui pulvérise les atomes et les éjecte dans toutes les directions. Ils se condensent alors sur le substrat. Le dépôt a la même composition que le matériau source de la cible. Ce bâti est destiné à fabriquer des couches minces de matériau magnétiques (oxydes magnétiques : magnétite, oxydes complexes ou des métaux : Fe, Co, Ni) pour des applications électroniques. En effet, ces matériaux présentent des propriétés très intéressantes dans le domaine du stockage magnétique de l’information (matériaux pour têtes de lectures et disques durs) et du traitement de cette information (électronique de spin).
Utilisation
Base de la Mission nationale de sauvegarde et de valorisation du patrimoine scientifique et technique contemporain, PATSTEC, Bâti de pulvérisation cathodique (Plassys), https://www.patstec.fr/ressources/objets/detail?id=7341, consulté le 2026-07-25
